China

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400-82-0725
纯度:98% CAS:

英文名称:Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium

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英文名称

Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium

英文别称

Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium(IV)

中文别称

四(甲乙氨基)铪

Smiles Code

CN(CC)[Hf](N(CC)C)(N(C)CC)N(C)CC

分子式

C2H32HfN4

纯度

98%

四(乙基甲基氨基)铪(IV)(TEMAH)是一种对水和空气敏感的无色液体。它在 -50 °C 下结冰并在 0. Torr 时在 78 °C 左右沸腾。
展开

2.03

[]. Martin Rose, et al. In situ reaction mechanism studies on ozone-based atomic layer deposition of Al(2)O(3) and HfO(2). ACS Appl Mater Interfaces. 200 Feb;2(2):347-50.

H225-H260-H302-H34-H335

P20-P223-P23+P232-P233-P240-P24-P242-P243-P260-P26-P264-P270-P27-P280-P30+P330+P33-P304+P340-P330-P363-P370+P378-P402+P404-P405-P50

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